激光清洗與機械磨擦清洗、化學腐蝕清洗、液體固體強力沖擊清洗、高頻超聲清洗等傳統(tǒng)清洗方法相比，有明顯的優(yōu)點。它高效、快捷、成本低，對基片產(chǎn)生的熱負荷和機械負荷小，清洗為非損傷；廢物可回收，無環(huán)境污染；安全可靠，不損害操作人員健康；可以清除各種不同厚度、不同成份的涂層；清潔過程易于實現(xiàn)自動化控制，實現(xiàn)遠距離遙控清洗等。